大家好，最小缺陷，关于最小缺陷的简介很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！

1、 最小缺陷是指集成电路制造中光刻模块掩模版或者光刻芯片上有效图形区域内允许存在的最小缺陷尺寸 。

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