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1、 晶圆清洗，将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺。

2、是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。

3、 。

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