【光刻机多钱一台】光刻机是半导体制造过程中不可或缺的核心设备，其价格因技术等级、品牌和功能不同而差异巨大。目前市面上的光刻机主要由荷兰ASML公司主导，包括DUV（深紫外）和EUV（极紫外）两种类型。不同型号的光刻机价格从数百万美元到上亿美元不等。
为了更直观地了解光刻机的价格区间，以下是对当前市场上主流光刻机型号及其大致价格的总结：
| 光刻机型号 | 技术类型 | 用途 | 大致价格（美元） |
| ASML DUV（如TWINSCAN NXE:3400B） | DUV | 中端芯片制造 | 1,200万 - 1,800万 |
| ASML EUV（如TWINSCAN NXE:3800D） | EUV | 高端芯片制造 | 1.2亿 - 1.5亿 |
| Nikon NSR-S630 | DUV | 中端芯片制造 | 800万 - 1,200万 |
| Canon FPA-1000 | DUV | 中端芯片制造 | 600万 - 900万 |
| 其他国产/中低端设备 | - | 小规模生产 | 50万 - 300万 |
需要注意的是，光刻机的价格不仅仅取决于设备本身，还包括后续的维护、软件授权、技术支持等附加成本。尤其是EUV光刻机，因其技术复杂、研发成本高，价格远高于传统DUV机型。
此外，由于光刻机涉及高端技术，部分型号受到国际出口管制，采购难度较大，这也间接影响了其市场流通和价格波动。
综上所述，光刻机的价格因型号和技术水平而异，高端EUV光刻机价格高昂，适合大型半导体企业使用；而中低端DUV设备则适用于中小规模芯片制造企业或科研机构。选择合适的光刻机，需结合自身需求与预算综合考虑。